项目（成果）单位：
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
项目简介：
产品突破了泵的智能控制、热场分布分区温控研究、高转速下动平衡等核心关键技术，满足了国内集成电路生产线工艺对节能、小体积、大抽速干泵的迫切需求，填补了国内空白。
新一代高效节能真空干泵
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