项目（成果）单位：

浙江中科院应用技术研究院

项目简介：

本项目的核心产品是纳米二氧化硅材料，该材料粒径范围5-150nm，具有粒径均匀、纯度高、质量一致性好、性价比高等特点，粒径、pH值、固含量、表面电荷、表面改性等可根据客户要求订制。

技术创新点：

在高纯二氧化硅纳米磨料的基础上开发了系列的CMP抛光液产品，包括硅片、蓝宝石、碳化硅、氮化镓、不锈钢等衬底抛光液和ILD、多晶硅、钨、钴等集成电路抛光液，广泛应用在集成电路、LED和手机等行业。

采用纳米二氧化硅材料开发了一系列建筑用纳米新材料，包括：内外墙无机涂料、高温无机陶瓷涂料、超疏水涂层材料、水泥地坪固化剂和防火玻璃防火液等。高纯二氧化硅纳米材料还大量应用在化工催化剂载体领域。