金刚石薄膜的制备与应用_新材料__皖江新兴产业技术发展中心

金刚石薄膜的制备与应用

项目（成果）单位：

中国科学院金属研究所

项目简介：

本项目主要利用微波化学气相沉积或热丝CVD的方法在不同衬底上生长各类型金刚石薄膜（单晶、多晶及多孔金刚石）以满足特殊超硬材料的机械加工和航空航天及微电子等领域对关键材料和技术的需求，如金刚石电子器件、金刚石切削刀具、金刚石硬质涂层、金刚石窗口、电子器件散热层等。